低阻型四探針檢測儀資料下載
儀器采用GB/T 1552-1995硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法 (2)范圍:電阻率10-5~10+3歐姆·厘米,分辨率為10-5歐姆·厘米 方塊電阻10-4~10+4歐姆/□,Z小分辨率為10-4歐姆/□ (3)可測量材料:半導(dǎo)體材料硅鍺棒、塊、片、導(dǎo)電薄膜等 可準(zhǔn)確測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥20㎜ 可測量的半導(dǎo)體尺寸:直徑≥8㎜ (4)測量方式:平面測量。 (5)電壓表:雙數(shù)字電壓表,可同時(shí)觀察電流、電壓變化 A.量程0~19.999 mV B.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度) C.靈敏度:1uV D輸入阻抗﹥1000MΩ E 4 1/2位數(shù)字顯示,0~19999 (6)恒流源: A.電流輸出:直流電流0.003~100 mA連續(xù)可調(diào),有交流電源供給 B.量程:10uA,100uA,1 mA,10 mA,100 mA五檔 C.恒流源精度:各檔均≤±0.05% (7)四探針測試探頭 A.探頭間距1.59㎜ B.探針機(jī)械游率:±0.3% C.探針直徑0.8㎜ D.探針材料:碳化鎢,探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。 (8)測試架:(選配) 手動(dòng)測試架:KDJ-1A 型手動(dòng)測試架探頭上下由手動(dòng)操作,可以用作斷面單晶棒和硅片測試,探針頭可上下移動(dòng)距離:120mm,測試臺(tái)面200x200(mm)。 (9)精度 電器精度:1-1000歐姆≤0.3 % 整機(jī)測量精度:1-100歐姆·厘米≤3% (10)電流:220V±10%,50HZ,功率消耗﹤35W 注:如果測金屬粉末電阻率必把樣品壓成塊或片才能測
蘇經(jīng)理
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