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-2B型烘膠臺(tái)在半導(dǎo)體工藝制備過(guò)程中，主要用于光刻工藝中的前烘和堅(jiān)膜，具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)；可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作，可廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)。  
 烘膠板采用不銹鋼材料制造。  
 烘膠板規(guī)格: ≥F200mm  
 烘烤溫度:  室溫～200℃  
 控溫精度:  ±1℃ 
控溫形式:  智能溫控儀PID調(diào)節(jié)，自動(dòng)測(cè)溫，控溫。  
 輸入電源：AC 220V/240V  5OHz  
 整機(jī)功率：600W 
整機(jī)重量：10Kg